全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:適用場(chǎng)景：用DIW/有機(jī)溶劑（可選）實(shí)現(xiàn)FOUP清潔，通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)/紅外燈管/CDA等多種技術(shù)實(shí)現(xiàn)FOUP干燥。設(shè)備特點(diǎn)：清洗對(duì)象：6/8/12半自動(dòng)FOUP/Cassette/POD。設(shè)備主要構(gòu)成：旋轉(zhuǎn)鼠籠(便捷式可180°旋轉(zhuǎn)后固定結(jié)構(gòu))、DIW噴淋系統(tǒng)、紅外加熱干燥系統(tǒng)、有機(jī)溶劑清洗系統(tǒng)（可選）等機(jī)構(gòu)組成。清洗能力：8只FOUP/小時(shí)（依配置的清洗腔真空腔數(shù)量而定）。干進(jìn)干出。人工分離FOUP、POD，人工上下料及更換工裝。旋轉(zhuǎn)式離心清洗，可正反調(diào)速旋轉(zhuǎn)，對(duì)于產(chǎn)品表面的附著殘留物容易去除。工裝設(shè)有防呆機(jī)構(gòu)，防止人工將清洗件放置錯(cuò)誤。鼠籠設(shè)有旋轉(zhuǎn)到位防呆檢測(cè)。動(dòng)平衡偵測(cè)轉(zhuǎn)籃未定位保護(hù)，降低因人為導(dǎo)致設(shè)備損壞。主軸以伺服馬達(dá)控制達(dá)到穩(wěn)定加減速及轉(zhuǎn)速數(shù)值化設(shè)定控制，主軸震動(dòng)值可監(jiān)測(cè)。可預(yù)設(shè)多條Recipe，操作簡(jiǎn)潔。選配SECS/GEM接口?？蓪?shí)現(xiàn)工件數(shù)據(jù)追溯，具有過(guò)點(diǎn)信息、狀態(tài)監(jiān)控、故障匯總、訂單下發(fā)等功能。選擇我司設(shè)備，讓你的生產(chǎn)更加節(jié)能、環(huán)保！海南片盒清洗機(jī)供應(yīng)商家

產(chǎn)品介紹：FOUP清洗機(jī)是一種自動(dòng)的離心清洗機(jī)，適用于所有類型的晶圓料盒（Smif Foup 、Fosb 、Cassette ）,可以實(shí)現(xiàn)良好的清洗和干燥效果。 裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉(zhuǎn)軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內(nèi)360 正 反轉(zhuǎn)動(dòng)。由DI Water的表面張力、機(jī)械力進(jìn)行Particle清洗, 離心＋熱風(fēng)進(jìn)行烘干等工藝組成，高效率、高質(zhì)量完成foup的ParticFOUP清洗機(jī),Casstte清洗機(jī),FOSB清洗機(jī),離心清洗機(jī),晶圓清洗機(jī),清洗干燥,360正反轉(zhuǎn)動(dòng)清洗機(jī),離心熱風(fēng)洪干清洗機(jī)。湖南半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)怎么收費(fèi)選擇江蘇芯夢(mèng)設(shè)備，讓你的生產(chǎn)更加智能化、自動(dòng)化！

在FOUP內(nèi)去除顆粒物的方法可以采取多種措施，以下是一些常見(jiàn)的方法：噴氣清洗：使用壓縮空氣或氮?dú)獾葰饬?，通過(guò)噴射到FOUP內(nèi)部，將顆粒物從FOUP表面吹走。噴氣清洗可以通過(guò)噴嘴、噴氣等設(shè)備來(lái)實(shí)現(xiàn)，通常結(jié)合定向氣流和適當(dāng)?shù)臍饬魉俣?，以有效地去除顆粒物。超聲波清洗：超聲波清洗是一種利用高頻聲波震動(dòng)的方法，可以將FOUP內(nèi)的顆粒物從表面剝離。超聲波的震動(dòng)作用可以在微小的尺度上產(chǎn)生沖擊波，從而破壞顆粒物與FOUP表面的附著力，使其脫落。濕拭清洗：濕拭清洗使用濕潤(rùn)的擦拭布或棉簽等工具，直接擦拭FOUP的表面，將顆粒物吸附到擦拭物上。這種方法適用于較大或較粘附的顆粒物，可以通過(guò)多次擦拭和更換擦拭物來(lái)提高清潔效果。靜電除塵：由于FOUP的材料通常具有一定的靜電特性，可以利用靜電除塵技術(shù)去除顆粒物。靜電除塵通常通過(guò)在FOUP內(nèi)部放置靜電除塵裝置，利用靜電作用將顆粒物吸附到帶電的部件上，然后移除這些帶電部件以去除顆粒物。過(guò)濾器和過(guò)濾介質(zhì)：在FOUP的設(shè)計(jì)中，可以使用過(guò)濾器和過(guò)濾介質(zhì)來(lái)阻止顆粒物進(jìn)入FOUP內(nèi)部。這些過(guò)濾器通常位于FOUP的入口和出口處，以過(guò)濾空氣中的固體顆粒和其他污染物，從而減少FOUP內(nèi)的顆粒物數(shù)量。

FOUP內(nèi)的污染物可以來(lái)自多個(gè)來(lái)源，以下是其中一些常見(jiàn)的來(lái)源：過(guò)程殘留物：在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，涉及到各種化學(xué)物質(zhì)、溶劑、清洗劑等。這些物質(zhì)可能在晶圓處理過(guò)程中殘留在FOUP內(nèi)，成為污染物的來(lái)源。顆粒物：在半導(dǎo)體制造環(huán)境中，微小顆粒是一個(gè)主要的污染源。這些顆粒可以來(lái)自空氣中的灰塵、工作環(huán)境的雜質(zhì)、設(shè)備的磨損等。這些顆粒物有可能通過(guò)FOUP的開(kāi)口進(jìn)入FOUP內(nèi)部，導(dǎo)致污染。人為操作：在FOUP的處理、維護(hù)和運(yùn)輸過(guò)程中，如果操作不當(dāng)，例如沒(méi)有正確地清潔操作工具、使用臟手觸摸FOUP等，都會(huì)引入污染物。傳輸和存儲(chǔ)過(guò)程：FOUP在制造過(guò)程中需要經(jīng)過(guò)多個(gè)環(huán)節(jié)的傳輸和存儲(chǔ)，包括機(jī)器之間的傳輸、暫存庫(kù)等。在這些過(guò)程中，如果傳輸設(shè)備或存儲(chǔ)環(huán)境不潔凈，或者FOUP密封不嚴(yán)密，都會(huì)導(dǎo)致污染物進(jìn)入FOUP內(nèi)。外部環(huán)境污染：FOUP在制造過(guò)程中可能暴露在環(huán)境中，例如在潔凈室內(nèi)。如果潔凈室內(nèi)的空氣質(zhì)量不佳，存在空氣中的微塵和顆粒物可能會(huì)進(jìn)入FOUP內(nèi)部，并成為污染源。芯夢(mèng)設(shè)備采用先進(jìn)的自動(dòng)化控制技術(shù)，提升生產(chǎn)效率！

FOUP清洗機(jī)的清洗通常涉及以下幾個(gè)步驟：預(yù)處理：在FOUP清洗機(jī)中，F(xiàn)OUP首先會(huì)經(jīng)過(guò)預(yù)處理步驟，以去除表面的大顆粒和雜質(zhì)。這可能涉及使用噴淋裝置、超聲波清洗器等設(shè)備，以噴射和震動(dòng)的方式清洗FOUP表面。清洗劑噴灑：清洗劑會(huì)被噴灑到FOUP表面，以去除附著在表面的污染物、油脂和有機(jī)物。清洗劑通常是一種化學(xué)溶液，具有去除污染物的特性。機(jī)械攪拌：一些FOUP清洗機(jī)可能具有機(jī)械攪拌功能，通過(guò)旋轉(zhuǎn)或攪拌FOUP，在清洗劑的作用下，進(jìn)一步加強(qiáng)清洗效果。機(jī)械攪拌可以幫助清洗劑更好地接觸到FOUP表面的污染物，并將其徹底去除。沖洗：在清洗劑作用一段時(shí)間后，清洗機(jī)會(huì)進(jìn)行沖洗步驟，將清洗劑和被去除的污染物沖洗掉。通常使用清潔的水源進(jìn)行沖洗，以確保殘留的清洗劑和污染物完全被去除。干燥：沖洗后，F(xiàn)OUP會(huì)進(jìn)入干燥步驟，以去除殘留的水分。這可以通過(guò)噴氣裝置、熱風(fēng)等方式實(shí)現(xiàn)。干燥是為了確保FOUP表面徹底干燥，避免水分殘留引起的污染或其他問(wèn)題。檢測(cè)和質(zhì)量控制：在清洗過(guò)程的不同步驟中，可以使用傳感器、儀器和監(jiān)測(cè)設(shè)備對(duì)FOUP進(jìn)行檢測(cè)和質(zhì)量控制。這可以包括檢測(cè)潔凈度、顆粒檢測(cè)、殘留物檢測(cè)等，以確保清洗效果符合要求。芯夢(mèng)設(shè)備具有高精度生產(chǎn)功能，確保產(chǎn)品質(zhì)量！上海半自動(dòng)FOSB清洗機(jī)規(guī)格尺寸

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Foup清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造中不可或缺的設(shè)備，用于清洗和處理晶圓載具（Foup）。我們的Foup清洗機(jī)采用智能化設(shè)計(jì)，滿足您對(duì)生產(chǎn)的多重需求。外觀精美，質(zhì)感上乘，提升生產(chǎn)品質(zhì)。采用品質(zhì)材料，使用壽命長(zhǎng)，是您的長(zhǎng)久伙伴。具有多種智能功能，助您輕松應(yīng)對(duì)生產(chǎn)挑戰(zhàn)。操作簡(jiǎn)單，維護(hù)方便，降低使用成本。我們的晶圓盒具有高精度功能，確保生產(chǎn)體驗(yàn)。采用先進(jìn)的自動(dòng)化控制技術(shù)，提升使用效率。選擇我們的Foup清洗機(jī)，讓您的晶圓生產(chǎn)更加便捷、舒適！海南片盒清洗機(jī)供應(yīng)商家

芯夢(mèng)擁有近12000平米的研發(fā)生產(chǎn)基地，包括超過(guò)3000平米的千級(jí)潔凈室和萬(wàn)級(jí)裝配車間，配備有精密的研發(fā)檢測(cè)儀器設(shè)備。芯夢(mèng)的創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)成員均為半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域從業(yè)數(shù)十年的專業(yè)人才，目前芯夢(mèng)已經(jīng)建立了一支多學(xué)科交叉、實(shí)力雄厚的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，目前公司擁有員工總數(shù)290余人，其中技術(shù)研發(fā)人員90余人，售后服務(wù)人員近40人。我們高度重視知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)，主營(yíng)產(chǎn)品已獲得數(shù)十項(xiàng)授權(quán)專利，包括近20件授權(quán)發(fā)明專利，并通過(guò)了知識(shí)產(chǎn)權(quán)管理體系認(rèn)證。

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